Prionnsabal obrach inneal còmhdach falamh

Is e inneal a th’ ann an inneal còmhdach falamh a bhios a’ tasgadh filmichean tana meatailt air uachdar substrate. Tha a phrionnsapal obrach bunaiteach air a roinn ann an trì ceumannan: glanadh, falmhachadh agus tasgadh.
1. Glanadh
Mus tèid a chuir a-steach gu evaporative, feumar an seòmar falmhachaidh a ghlanadh. Leis gum faodadh ocsaidean, saim, duslach agus stuthan eile a bhith ceangailte ri uachdar an t-seòmair falmhachaidh, bheir iad sin buaidh air càileachd an fhilm. Mar as trice bidh glanadh a 'cleachdadh dhòighean ceimigeach no corporra.
2. falmhachadh
Tha an stuth a tha a dhìth air a theasachadh os cionn an ìre leaghaidh gus am bi e a 'cruthachadh mholacilean gaseous. Thèid na moileciuilean gaseous an uairsin a theicheadh ​​​​anns an t-seòmar falamh a-steach don t-seòmar falmhachaidh. Canar evaporation ris a’ phròiseas seo. Bidh teòthachd, cuideam agus ìre falmhachaidh a’ toirt buaidh air co-dhèanamh, structar agus feartan an fhilm.
3. Tasgaidh
Bidh na moileciuilean gaseous den stuth anns an t-seòmar falmhachaidh a’ dol a-steach don t-seòmar ath-bhualadh tron ​​​​phìob falamh, ag ath-fhreagairt leis an stuth gnìomhach, agus an uairsin a ’tasgadh an toraidh air uachdar an t-substrate. Canar grùid ris a’ phròiseas seo. Bidh an teòthachd, cuideam agus ìre tasgaidh cuideachd a’ toirt buaidh air càileachd agus coileanadh an fhilm.
2. Iarrtas
Tha innealan còmhdach falamh air an cleachdadh gu farsaing ann an saidheans stuthan, optics, electronics agus raointean eile.
1. Saidheans Stuthan
Faodaidh innealan còmhdach falamh filmichean tana ullachadh de dhiofar mheatailtean, aloidhean, ocsaidean, silicates agus stuthan eile, agus tha iad air an cleachdadh gu farsaing ann an còmhdach, filmichean optigeach, stòradh optigeach, taisbeanaidhean, transistors agus raointean eile.
2. Optics
Faodaidh an inneal còmhdach falamh filmichean meatailt agus alloy ullachadh le faileas àrd agus filmichean optigeach le gnìomhan sònraichte. Faodar na filmichean sin a chleachdadh ann am panalan grèine, miocroscopan dealanach àrd-choileanadh, aerogels, mothachairean UV / IR, sìoltachain optigeach agus raointean eile.
3. Leictreonaic
Faodaidh innealan còmhdach falamh stuthan dealanach nanoscale agus innealan microelectronic ullachadh. Faodar na filmichean sin a chleachdadh ann an nanotransistors, cuimhneachain magnetach, mothachairean agus raointean eile.
Ann an ùine ghoirid, chan urrainn don inneal còmhdach falamh a-mhàin grunn stuthan film tana ullachadh, ach cuideachd filmichean tana ullachadh le gnìomhan sònraichte mar a dh ’fheumar. Anns an àm ri teachd, thèid teicneòlas còmhdach falamh a chleachdadh agus a bhrosnachadh nas fharsainge.